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    • 专利摘要:
    Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Bauteils beschrieben, bei dem zumindest zwei optische Elemente (1, 2) derart zusammengefügt werden, dass zwischen den optischen Elementen (1, 2) eine Lücke verbleibt, eine Fluor-basierte organische Verbindung (3) in die Lücke zwischen den optischen Elementen (1, 2) eingebracht wird und der äußere Rand der Lücke am Rand der optischen Elemente (1, 2) mit einem klebenden Fluorharz (4) versiegelt bzw. abgedichtet wird. Des Weiteren wird ein derartig hergestelltes optisches Bauteil beschrieben (Fig. 1).A method for producing an optical component is described, in which at least two optical elements (1, 2) are joined together in such a way that a gap remains between the optical elements (1, 2), a fluorine-based organic compound (3) in the gap between the optical elements (1, 2) is introduced and the outer edge of the gap at the edge of the optical elements (1, 2) is sealed or sealed with an adhesive fluororesin (4). Furthermore, an optical component manufactured in this way is described (FIG. 1).
    公开号:DE102004010568A1
    申请号:DE102004010568
    申请日:2004-02-26
    公开日:2004-09-09
    发明作者:Takashi Takahashi
    申请人:Topcon Corp；
    IPC主号:C03C27-10
    专利说明:
    [0001] Die vorliegende Erfindung betrifftein optisches Bauteil insbesondere zur Verwendung im ultravioletten Spektralbereichsowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.The present invention relates toan optical component especially for use in the ultraviolet spectral rangeand a process for its production.
    [0002] Ein solches optisches Bauteil wirdbeispielsweise in einem transmissiven optischen System verwendet undkann beispielsweise eine Verbundlinse oder ein Verbundprisma sein.Such an optical component isused for example in a transmissive optical system andcan be, for example, a composite lens or a composite prism.
    [0003] Die vorliegende Erfindung betrifftinsbesondere ein optisches Bauteil, das für die Verwendung im Ultraviolettbereichin einer Halbleiterprüfvorrichtungoder dgl. geeignet ist.The present invention relates toin particular an optical component that is intended for use in the ultraviolet rangein a semiconductor test deviceor the like. is suitable.
    [0004] In herkömmlichen Halbleiterprüfvorrichtungenund anderen Präzisionsmessvorrichtungenwird die Prüfungeines Wafers oder dgl. im ultravioletten Wellenlängenbereich von 200 bis 400nm durchgeführt.In einer solchen Halbleiterprüfvorrichtungwerden Linsen aus Quarz (SiO2) oder ausFluorit (CaF2) zur Korrektur von chromatischerAberration verwendet (Achromatisierung).In conventional semiconductor testing devices and other precision measuring devices, the testing of a wafer or the like is carried out in the ultraviolet wavelength range from 200 to 400 nm. In such a semiconductor test device, lenses made of quartz (SiO 2 ) or fluorite (CaF 2 ) are used to correct chromatic aberration (achromatization).
    [0005] Aus dem Dokument JP 60-186444 A ist es beispielsweisebekannt, den zur Außenseitegrenzenden Teil der Klebflächeeines optisch geklebten Strahlteilers von der Art eines Prismasfür Interferometermit einer Versiegelungsmasse zu schützen.From the document JP 60-186444 A it is known, for example, to protect the part of the adhesive surface of an optically glued beam splitter of the type of a prism for interferometers bordering the outside with a sealing compound.
    [0006] Aus dem Dokument JP 2-287419 A ist ein optischesBauteil bekannt, das ein Klebelement aufweist, das als Film ausgebildetist, der sowohl eine thermisch klebende Filmschicht als auch eineBarrierenschicht aufweist, indem ein thermisch schmelzbarer Filmmit hoher Dampfbarriereeigenschaft wie einem Fluorbasierten Filmverwendet wird. Es werden CTFE (Polychlortrifluorethan), FEP (Polyperfluorethylen-Propylen),PVDF (Polyvinylidenfluorid), PVDC (Polyvinylidenchlorid) und dgl.als Materialien fürden Film verwendet.From the document JP 2-287419 A there is known an optical component having an adhesive member formed as a film having both a thermally adhesive film layer and a barrier layer by using a thermally fusible film having a high vapor barrier property such as a fluorine-based film. CTFE (polychlorotrifluoroethane), FEP (polyperfluoroethylene propylene), PVDF (polyvinylidene fluoride), PVDC (polyvinylidene chloride) and the like are used as materials for the film.
    [0007] Aus dem Dokument JP 60-176017 A ist weiterhinein optisches Bauteil bekannt, bei dem ein kautschukelastischerKörper,wie beispielsweise ein Ethylenpropylenkautschuk oder ein Silikonkautschuk,der unter sichtbarem Licht transparent ist, zwischen zwei Linseneingefügtist, die nicht dicht aneinander angepasst sind, wobei der kautschukelastischeKörpermit einem piezoelektrischen Film, wie beispielsweise Polyvinylidenfluoridoder dgl., bedeckt ist.From the document JP 60-176017 A there is also known an optical component in which a rubber-elastic body, such as, for example, an ethylene-propylene rubber or a silicone rubber, which is transparent under visible light, is inserted between two lenses which are not closely matched to one another, the rubber-elastic body being covered with a piezoelectric film, such as polyvinylidene fluoride or the like.
    [0008] Gemäß dem Dokument JP 5-2105 A werden als Materialienfür einenringförmigenFilm beispielsweise thermoplastische und duroplastische Harze wiePolyethylen, Polypropylen, Polyvinylchlorid, Polyamid, Polystyrol,Polyisobutylen, Polycarbonat, Polyvinylidenchlorid, Polyvinylacetal,Polymethylmethacrylat, Polyacrylnitril, Polyimid, Zellulose-basiertesFluorharz, Epoxid, Polyurethan, Silikonharz, Copolymere davon undHarze sowie solche Materialien verwendet, denen Plastifizierer oderFüllstoffezugegeben wurden.According to the document JP 5-2105 A are used as materials for a ring-shaped film, for example, thermoplastic and thermosetting resins such as polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyamide, polystyrene, polyisobutylene, polycarbonate, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetal, polymethyl methacrylate, polyacrylonitrile, polyimide, cellulose-based fluororesin, epoxy, polyurethane, silicone resin, copolymers thereof and resins, and materials used to which plasticizers or fillers have been added.
    [0009] Aus dem Dokument JP 2003-12349 A ist auchein gefügtesoptisches Bauteil fürden UV-Bereich bekannt, das durch Verbinden optischer Elemente,die fürultraviolette Strahlen durchlässigsind, mittels einer Klebschicht gebildet ist, wobei als Klebschichteine Lösungverwendet wird, in der ein Lösemittellöslichesorganisches Fluorharz, das keine ungesättigten Bindungen im Molekül aufweist,in einem Fluor enthaltenden Lösemittelgelöstist, das einen Siedepunkt von 150°Coder höherund keine ungesättigtenBindungen im Molekül aufweist,wobei das Lösemittelin dem Teil der Klebschicht, der mit der Atmosphäre in Berührung steht, verdampft wirdund die optischen Elemente in einem Zustand verbunden werden, indem das Lösemittelin dem anderen Teil in der Klebschicht zurückgeblieben ist.From the document JP 2003-12349 A there is also known a joined optical component for the UV range, which is formed by connecting optical elements which are transparent to ultraviolet rays by means of an adhesive layer, a solution being used as the adhesive layer in which a solvent-soluble organic fluororesin, which does not have any having unsaturated bonds in the molecule is dissolved in a fluorine-containing solvent having a boiling point of 150 ° C or higher and no unsaturated bonds in the molecule, the solvent being evaporated in the part of the adhesive layer which is in contact with the atmosphere and the optical elements are connected in a state in which the solvent is left in the other part in the adhesive layer.
    [0010] Das Anhaften unter Verwendung einerkonventionellen Versiegelungsmasse führt zu dem Problem, dass dasinnenseitig befindliche Lösemittelnicht aushärtet,weil es auf Grund der hohen Haftverwindung nicht verdampft wird,eine Wärmebehandlungnicht durchgeführtwerden kann, da diese eine Hochpräzisionslinse negativ beeinträchtigt,und ein axiales Schlüpfenverursacht wird. Daher konnte bislang eine Hochpräzisionsvorrichtungwie eine Halbleiterprüfvorrichtungnicht in geeigneter Weise im Ultraviolettbereich eingesetzt werden.Sticking using oneconventional sealant leads to the problem that theinternal solventsdoes not hardenbecause it doesn't evaporate due to the high twist of adhesion,a heat treatmentnot donebecause it negatively affects a high-precision lens,and axial hatchingis caused. Therefore, a high-precision device has so far been able tolike a semiconductor testerare not used in a suitable manner in the ultraviolet range.
    [0011] In Anbetracht der zuvor genanntenProbleme liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einoptisches Bauteil sowie ein Verfahren zum Herstellen desselben bereitzustellen,das mit einer Versiegelungsmasse versiegelt ist, die nicht durchUV-Absorption verschlechtertwird, und die in der Lage ist, optische Elemente oder dgl. präzise miteinanderzu verbinden.In view of the aforementionedProblems, the present invention addresses the problemto provide an optical component and a method for producing the same,that is sealed with a sealant that is not throughUV absorption worsenedand which is able to precisely match optical elements or the likeconnect to.
    [0012] Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durchein Verfahren gelöst,das folgende Schritte aufweist: Zusammenfügen von zumindest zwei optischenElementen, derart, dass zwischen den optischen Elementen eine Lücke verbleibt,Einbringen einer Fluor-basierten organischen Verbindung in die Lücke zwischenden optischen Elementen, und Versiegeln bzw. Abdichten des äußeren Randesder Lückeam Rand der optischen Elemente mit einem klebenden Fluorharz.According to the invention, this object is achieved by a method which has the following steps: Joining at least two optical elements such that a gap remains between the optical elements, introducing a fluorine-based organic compound into the gap between the optical elements, and sealing or sealing the outer edge of the gap at the edge of the optical elements with a adhesive fluororesin.
    [0013] Ferner wird die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe durch ein optisches Bauteil gelöst, mit zumindest zwei optischenElementen, die auf Lückeangeordnet sind, wobei in der Lückeeine Fluor-basierte organische Verbindung vorhanden ist, und wobeider äußere Randder Lückeam Rand der optischen Elemente mit einem klebenden Fluorharz versiegeltbzw. abgedichtet ist.Furthermore, the object on which the invention is based is achieved by an optical component, too at least two optical elements arranged on a gap, wherein a fluorine-based organic compound is present in the gap, and the outer edge of the gap is sealed or sealed at the edge of the optical elements with an adhesive fluororesin.
    [0014] Vorteilhafte Ausgestaltungen derErfindung sind in den Unteransprüchenangegeben.Advantageous embodiments of theInvention are in the subclaimsspecified.
    [0015] Gemäß der vorliegenden Erfindungkann eine Mehr- oder Vielzahl von optischen Elementen insbesonderezur Verwendung im Ultraviolettbereich dicht aneinander zusammengefügt werden.Eine Fluor-basierte organische Verbindung wird zwischen die optischenElemente, die das optische Bauteil bilden, eingefüllt. Der Randder Fluor-basierten organischen Verbindung wird dann am Rand deroptischen Elemente mit einem klebenden Fluorharz, beispielsweiseeinem löslichenFluorharz, versiegelt bzw. abgedichtet.According to the present inventioncan be a plurality or a large number of optical elements in particularfor use in the ultraviolet range.A fluorine-based organic compound is placed between the optical onesElements that form the optical component are filled. The edgeThe fluorine-based organic compound is then on the edge of theoptical elements with an adhesive fluororesin, for examplea solubleFluororesin, sealed or sealed.
    [0016] Eine bevorzugte Versiegelungs- oderDichtmasse ist eine solche, die nicht durch Absorption von ultraviolettemLicht verschlechtert wird, die, wenn sie die optischen Elementebedeckt, keine Haftverwindung verursacht, so dass das innenseitigbefindliche Lösungsmittelleicht verdampfen und aushärtenkann, ohne dass eine Wärmebehandlungnotwendig ist, und die kein axiales Schlüpfen verursacht. Eine Fluor-basierteorganische Verbindung ist das geeignetste Material, um in die optischenElemente zur Verwendung im Ultraviolettbereich eingefüllt zu werden.A preferred sealing orSealant is one that is not absorbed by ultravioletLight is degraded when it detects the optical elementscovered, no twisting of the adhesive caused, so that's the insidesolventsevaporate easily and hardencan without heat treatmentis necessary, and which does not cause axial hatching. A fluorine-basedorganic compound is the most suitable material to get into the opticalElements to be filled in for use in the ultraviolet range.
    [0017] In einer bevorzugten Ausgestaltungist die Fluor-basierte organische Verbindung ein Fluor-basiertes Öl (Fluorfett).In a preferred embodimentthe fluorine-based organic compound is a fluorine-based oil (fluorine fat).
    [0018] Weitere Vorteile und Merkmale ergebensich aus der nachfolgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.Further advantages and features resultfrom the following description and the accompanying drawing.
    [0019] Es versteht sich, dass die vorstehendgenannten und nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nurin der jeweils angege benen Kombination, sondern auch in anderenKombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmender vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the abovenot only mentioned features and to be explained belowin the specified combination, but also in othersCombinations or alone can be used without the frameto leave the present invention.
    [0020] Bevorzugte Ausführungsbeispiele werden hiernachmit Bezug auf die beigefügteZeichnung beschrieben. Es zeigen:Preferred embodiments are hereafterwith reference to the attachedDrawing described. Show it:
    [0021] 1 schematischeinen Schnitt durch ein optisches Bauteil gemäß einem Ausführungsbeispielder vorliegenden Erfindung; und 1 schematically shows a section through an optical component according to an embodiment of the present invention; and
    [0022] 2 schematischeinen Schnitt durch ein optisches Bauteil gemäß einem weiteren Ausführungsbeispielder vorliegenden Erfindung. 2 schematically shows a section through an optical component according to a further embodiment of the present invention.
    [0023] 1 zeigtein optisches Bauteil gemäß einemersten Ausführungsbeispielder vorliegenden Erfindung. Das dargestellte optische Bauteil wirdbeispielsweise in einer Halbleiterprüfvorrichtung im ultravioletten Spektralbereichverwendet. 1 shows an optical component according to a first embodiment of the present invention. The optical component shown is used, for example, in a semiconductor test device in the ultraviolet spectral range.
    [0024] Gemäß 1 weist das optische Bauteil zwei optischeElemente 1 und 2 in Form zweier Linsen zur Verwendungim ultravioletten Spektralbereich auf.According to 1 the optical component has two optical elements 1 and 2 in the form of two lenses for use in the ultraviolet spectral range.
    [0025] Die Linse 1 ist aus Fluorit(CaF2) gebildet und weist einen Durchmesservon etwa 20 mm auf, und die Linse 2 ist aus synthetischemQuarz (SiO2) gebildet und weist einen Durchmesservon ebenfalls etwa 20 mm auf. Eine Lücke, die vorzugsweise durchgängig diegleiche Dicke aufweist, wird vorzugsweise zwischen den Linsen 1 und 2 vorgesehen.Ein Fluorfett 3, das ein bevorzugtes Beispiel für die Fluor-basierteorganische Verbindung ist, wird vollständig in die Lücke eingebrachtbzw. eingefüllt.Folglich sind die Linsen 1 und 2 dicht aneinanderangepasst und zusammengefügt.The Lens 1 is made of fluorite (CaF 2 ) and has a diameter of about 20 mm, and the lens 2 is made of synthetic quartz (SiO 2 ) and also has a diameter of about 20 mm. A gap, which preferably has the same thickness throughout, is preferably between the lenses 1 and 2 intended. A fluorine grease 3 , which is a preferred example of the fluorine-based organic compound, is completely filled in the gap. Hence the lenses 1 and 2 closely matched and put together.
    [0026] Die Abmessung der Lücke zwischenden Linsen 1 und 2 in 1 beträgt etwa 10 bis etwa 20 μm.The dimension of the gap between the lenses 1 and 2 in 1 is about 10 to about 20 microns.
    [0027] Die Profilunebenheiten der Fluorit(CaF2)-Linse 1 und der Synthetik-Quarz(SiO2)-Linse 2 liegen beispielsweisebei etwa 1/20 λ,wobei λ eineStandardwellenlängeist und, wie späterbeschrieben wird, die Wellenlängeder durchgelassenen ultravioletten Strahlen von 200 bis 300 nm,beispielsweise 248 nm, ist.The profile irregularities of the fluorite (CaF 2 ) lens 1 and the synthetic quartz (SiO 2 ) lens 2 are, for example, about 1/20 λ, where λ is a standard wavelength and, as will be described later, is the wavelength of the transmitted ultraviolet rays of 200 to 300 nm, for example 248 nm.
    [0028] Ebenfalls möglich ist eine Wellenlänge von100 bis 200 nm, beispielsweise 193 nm, in Abhängigkeit von der Leistung desLasers.A wavelength of is also possible100 to 200 nm, for example 193 nm, depending on the power of theLaser.
    [0029] Das Fluorfett 3 weist eineBeständigkeitgegenübereinem Excimer-Laser, beispielsweise einem später beschriebenen Kryptonfluorid(KrF)-Laserauf.The fluorine grease 3 exhibits resistance to an excimer laser, for example a krypton fluoride (KrF) laser described later.
    [0030] Als Fluorfett können verschiedene Fluorfetteverwendet werden. Insbesondere werden die nachstehend beschriebenenFluorfette bevorzugt verwendet. Die vorliegende Erfindung ist jedochnicht auf diese beschränkt.Different fluorine greases can be used as fluorine greasebe used. In particular, those described belowFluorine greases are preferred. However, the present invention isnot limited to this.
    [0031] Es wurde herausgefunden, dass dieOberflächender Synthetik-Quarz-Linsen 1 und 2,die mit dem als das Fluorölverwendeten Fluor-basierten Fett 3 in Kontakt stehen, rauwerden, wenn die wie in 2 gezeigt zusammengefügten Linsen 1 und 2 mitUltraviolettstrahlung hoher Leuchtdichte und kurzer Wellenlänge von 200nm oder weniger bestrahlt werden. Das Rauwerden der Oberfläche derSynthetik-Quarz-Linsen 1 und 2 kann durch Aufdampfenvon Fluoriden 5, 6 wie Magnesiumfluorid auf dieOberflächender Synthetik-Quarz-Linsen 1 und 2 vermieden werden.It was found that the surfaces of the synthetic quartz lenses 1 and 2 that with the fluorine-based fat used as the fluorine oil 3 get in touch, get rough when like in 2 shown assembled lenses 1 and 2 be irradiated with ultraviolet radiation of high luminance and a short wavelength of 200 nm or less. The roughening of the surface of the synthetic quartz lenses 1 and 2 can by vapor deposition of fluorides 5 . 6 like magnesium fluoride on the surfaces of the synthetic quartz lenses 1 and 2 be avoided.
    [0032] Fluorfett hergestellt von DaikinIndustries Ltd. (Handelsname: DEMNUM Serie)
    [0033] Fluorfett hergestellt von E.I. duPont de Nemours & Company
    [0034] Fluorfett hergestellt von der SolvayS.A. (Handelsname: FOMBLINY)
    [0035] In dem Ausführungsbeispiel in 1 wird das von Daikin IndustriesLtd. hergestellte Fluorfett verwendet.In the embodiment in 1 is that from Daikin Industries Ltd. manufactured fluorine grease used.
    [0036] In dem Zustand, nachdem das Fluorfettzwischen die Linsen 1 und 2 eingebracht wurde,beträgtdie gesamte Dicke der Fluorit(CaF2)-Linse 1,des Fluorfetts 3, und der Synthetik-Quarz(SiO2)-Linse 2 etwa5 mm (in 1 sind dieAbmessungen übertriebendargestellt).In the state after the fluorine grease between the lenses 1 and 2 was introduced, the total thickness of the fluorite (CaF 2 ) lens is 1 , the fluorine fat 3 , and the synthetic quartz (SiO 2 ) lens 2 about 5 mm (in 1 the dimensions are exaggerated).
    [0037] Wie in 1 und 2 dargestellt ist, wird,nachdem das Fluorfett 3 in die Lücke zwischen der Fluorit(CaF2)-Linse 1 und der Synthetik-Quarz(SiO2)-Linse 2 eingefüllt wurde,der gesamte Rand der Linsen 1 und 2 mit einerVersiegelungsmasse 4 versiegelt.As in 1 and 2 is shown after the fluorine grease 3 into the gap between the fluorite (CaF 2 ) lens 1 and the synthetic quartz (SiO 2 ) lens 2 was filled in, the entire edge of the lenses 1 and 2 with a sealant 4 sealed.
    [0038] Als Versiegelungsmasse 4 können beispielsweisein organischen Lösemittelnlöslicheamorphe Fluorharze wie CYTOP (Handelsname, hergestellt durch AsahiGlass Company, Ltd.), TEFLON (eingetragene Marke), AF Serie (Handelsname,hergestellt durch du Pont-MitsuiFluorochemicals Company, Ltd.), ALGOFLON AD Serie (Handelsname,Solvay Solexis K.K.), INT-444V (Handelsname, hergestellt durch NImaterial), und andere Produkte verwendet werden, die von der HoechstAG und Mitsubishi Rayon, Ltd. hergestellt werden. In diesem Fallkönnendie Fluorit(CaF2)-Linse 1 und dieSynthetik-Quarz(SiO2)-Linse 2 festeraneinander gebunden und ein Austreten bzw. eine Leckage des Fluorfetts 3 ausdem Rand der Lückezwischen den Linsen 1 und 2 sicher verhindertwerden.As a sealant 4 For example, amorphous fluororesins soluble in organic solvents such as CYTOP (trade name, made by Asahi Glass Company, Ltd.), TEFLON (registered trademark), AF series (trade name, made by du Pont-Mitsui Fluorochemicals Company, Ltd.), ALGOFLON AD series (Trade name, Solvay Solexis KK), INT-444V (trade name, manufactured by NI material), and other products used by Hoechst AG and Mitsubishi Rayon, Ltd. getting produced. In this case, the fluorite (CaF 2 ) lens 1 and the synthetic quartz (SiO 2 ) lens 2 tied to each other and leakage or leakage of fluorine grease 3 from the edge of the gap between the lenses 1 and 2 can be prevented safely.
    [0039] Zusätzlich zu diesen Fluor-basierten Ölen können AFLUDE(Handelsname, hergestellt durch die Asahi Glass Company, Ltd.),andere Perfluorkohlenstoffe (PFC, hergestellt durch die 3M Companyund E.I. du Pont de Nemours & Company),Fluorkohlenwasserstoffe (HFC), Hydrofluorether (HFE), DEMNUM (hergestellt durchDaikin Industries, Ltd.), FOMBLIN (hergestellt durch die SolvayAG), KRYTOX (hergestellt durch E.I. du Pont de Nemours & Company) undandere ebenfalls als Fluor-basierte organische Verbindungen für die Herstellungeines optischen Bauteils zur Verwendung im Ultraviolettbereich verwendetwerden.In addition to these fluorine-based oils, AFLUDE(Trade name, manufactured by Asahi Glass Company, Ltd.),other perfluorocarbons (PFC, manufactured by 3M Companyand egg. du Pont de Nemours & Company),Fluorocarbons (HFC), hydrofluoroethers (HFE), DEMNUM (manufactured byDaikin Industries, Ltd.), FOMBLIN (manufactured by SolvayAG), KRYTOX (manufactured by E.I. du Pont de Nemours & Company) andothers also as fluorine-based organic compounds for manufacturean optical component for use in the ultraviolet rangebecome.
    [0040] Ein optisches Bauteil wurde durchZusammenfügenvon zwei optischen Elementen 1 und 2 in Form vonLinsen wie in 1 dargestellthergestellt. Das optische Bauteil wurde mit einem Excimer-Laser,beispielsweise einem KrF-Laser, im tiefen UV bei 248 nm aus einerallgemeinen Richtung bei einer Ausgangsleistungsdichte von 3 W/cm2 148 Stunden lang bestrahlt. Die opti scheDicke des Fluorfetts 3 lag bei 10 μm, aber der Transmissionsgraddes Fluorfetts 3 hat sich kaum verändert. Haftverwindungen wurdenkaum beobachtet.An optical component was created by joining two optical elements together 1 and 2 in the form of lenses as in 1 shown manufactured. The optical component was irradiated with an excimer laser, for example a KrF laser, in deep UV at 248 nm from a general direction at an output power density of 3 W / cm 2 for 148 hours. The optical thickness of the fluor grease 3 was 10 μm, but the transmittance of the fluorine grease 3 has hardly changed. Twists in adhesion were hardly observed.
    [0041] Ein optisches Bauteil, das die gleicheForm und Abmessungen aufweist wie das optische Bauteil, das in demzuvor genannten Experiment verwendet wurde (beispielsweise gleicherDurchmesser, Dicke und Abstand zwischen den Linsen 1 und 2)wurde hergestellt, indem das Anhaften zwischen einer Fluorit(CaF2)-Linse und einer Synthetik-Quarz(SiO2)-Linse durch Verwendung eines Klebstoffs,der aus einem organischen Silikonharz SILPOT 184 besteht, das vonder Dow Corning Co. hergestellt wird, anstatt durch Einfüllen vonFluorfett 3 in die Lückezwischen den Linsen 1 und 2 bewerkstelligt wurde.Das optische Bauteil fürdas Vergleichsexperiment wurde mit einem Excimer-Laser, beispielsweiseeinem KrF-Laser, im tiefen UV-Bereich bei 248 nm bei einer Ausgangsleistungsdichtevon 3 W/cm2 148 Stunden lang ähnlich zudem zuvor genannten Experiment bestrahlt. Als Folge schälte sichdie Schicht, die durch den Klebstoff gebildet wurde, der aus dem organischenSilikonharz aus SILPOT 184 besteht, der von der Dow Corning Co.hergestellt wird, ab, da sie durch den Laserstrahl des Excimer-Lasersweggebrannt und verschlechtert wurde. Haftverwindungen verursachenebenfalls eine Verschlechterung der Eigenschaften des optischenBauteils.An optical component that has the same shape and dimensions as the optical component that was used in the aforementioned experiment (for example, the same diameter, thickness and distance between the lenses 1 and 2 ) was made by adhering between a fluorite (CaF 2 ) lens and a synthetic quartz (SiO 2 ) lens by using an adhesive made of an organic silicone resin SILPOT 184 manufactured by Dow Corning Co. instead of adding fluorine grease 3 in the gap between the lenses 1 and 2 was accomplished. The optical component for the comparative experiment was irradiated with an excimer laser, for example a KrF laser, in the deep UV range at 248 nm at an output power density of 3 W / cm 2 for 148 hours similar to the experiment mentioned above. As a result, the layer formed by the adhesive made of the SILPOT 184 organic silicone resin manufactured by Dow Corning Co. peeled off because it was burned away and deteriorated by the laser beam of the excimer laser. Adhesive twists also cause the properties of the optical component to deteriorate.
    [0042] Gemäß der vorliegenden Erfindungkann eine Mehrzahl von optischen Elementen wie beispielsweise Linsengenau und präziseuntereinander verbunden werden, und eine Leckage am Rand der Lücke zwischen denLinsen kann sicher verhindert werden. Wei terhin kann eine Verschlechterungdurch UV-Absorption ebenfalls vermieden werden.According to the present inventioncan be a plurality of optical elements such as lensesaccurate and preciseinterconnected, and leakage at the edge of the gap between theLentils can be prevented safely. Further worsening may occurcan also be avoided by UV absorption.
    权利要求:
    Claims (8)
    [1]
    Verfahren zum Herstellen eines optischen Bauteils,mit den Schritten: Zusammenfügen von zumindest zwei optischenElementen (1, 2), derart, dass zwischen den optischenElementen (1, 2) eine Lücke verbleibt, Einbringeneiner Fluor-basierten organischen Verbindung (3) in dieLücke zwischenden optischen Elementen (1, 2), und Versiegelnbzw. Abdichten des äußeren Randesder Lückeam Rand der optischen Elemente (1, 2) mit einem klebendenFluorharz (4).Method for producing an optical component, comprising the steps: joining together at least two optical elements ( 1 . 2 ), such that between the optical elements ( 1 . 2 ) a gap remains, introduction of a fluorine-based organic compound ( 3 ) in the gap between the optical elements ( 1 . 2 ), and sealing or sealing the outer edge of the gap at the edge of the optical elements ( 1 . 2 ) with an adhesive fluororesin ( 4 ).
    [2]
    Verfahren nach Anspruch 1, wobei als Fluor-basierteorganische Verbindung (3) ein Fluor-basiertes Öl verwendet wird.A method according to claim 1, wherein as fluorine-basedorganic compound (3) a fluorine-based oil is used.
    [3]
    Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die zumindesteine Lückezwischen den optischen Elementen (1, 2) eine Breitevon etwa 10 bis etwa 20 μmaufweist.The method of claim 1 or 2, wherein the at least one gap between the optical elements ( 1 . 2 ) has a width of about 10 to about 20 microns.
    [4]
    Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei auf zumindesteine Oberflächeder optischen Elemente (1, 2), die mit der Fluor-basiertenorganischen Verbindung (3) in Berührung kommt, ein Fluorid aufgebracht,vorzugsweise aufgedampft wird.Method according to one of claims 1 to 3, wherein on at least one surface of the optical elements ( 1 . 2 ) with the fluorine-based organic compound ( 3 ) comes into contact, a fluoride is applied, preferably vapor-deposited.
    [5]
    Optisches Bauteil, mit zumindest zwei optischen Elementen(1, 2), die auf Lücke angeordnet sind, wobei inder Lückeeine Fluor-basierte organische Verbindung (3) vorhanden ist, undwobei der äußere Randder Lückeam Rand der optischen Elemente (1, 2) mit einemklebenden Fluorharz (4) versiegelt bzw. abgedichtet ist.Optical component, with at least two optical elements ( 1 . 2 ), which are arranged on a gap, wherein a fluorine-based organic compound (3) is present in the gap, and the outer edge of the gap at the edge of the optical elements ( 1 . 2 ) with an adhesive fluororesin ( 4 ) is sealed.
    [6]
    Optisches Bauteil nach Anspruch 5, wobei die Fluorbasierteorganische Verbindung (3) ein Fluor-basiertes Öl ist.Optical component according to claim 5, wherein the fluorine-based organic compound ( 3 ) is a fluorine-based oil.
    [7]
    Optisches Bauteil nach Anspruch 5 oder 6, wobei dieLücke eineBreite von etwa 10 bis etwa 20 μmaufweist.Optical component according to claim 5 or 6, wherein theGap oneWidth from about 10 to about 20 micronshaving.
    [8]
    Optisches Bauteil nach einem der Ansprüche 5 bis7, wobei auf zumindest einer Oberfläche der optischen Elemente(1, 2) die mit der Fluor-basierten organischenVerbindung (3) in Berührungsteht, ein Fluorid aufgebracht ist.Optical component according to one of claims 5 to 7, wherein on at least one surface of the optical elements ( 1 . 2 ) with the fluorine-based organic compound ( 3 ) is in contact, a fluoride is applied.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    US20060126189A1|2006-06-15|
    JP2004331487A|2004-11-25|
    US20040168758A1|2004-09-02|
    US7747127B2|2010-06-29|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2011-05-26| 8141| Disposal/no request for examination|
    2011-05-26| R005| Application deemed withdrawn due to failure to request examination|Effective date: 20110301 |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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